Skenovací elektrónový mikroskop s detekciou
sekundárnych elektrónov, detekciou spätne odrazených elektrónov, transmisným
detektorom, SDD EDX Bruker detektorom, VPSE detektorom. Maximálne rozlíšenie je
3 nm pri 30kV, pracovné napätie je 1-30 kV, zväčšenie 5-1 000 000x.
Pracovné prostredie: vodné pary, vzduch a dusík. Pracovný tlak 10-3000 Pa. Rozmery
pracovnej komory sú - priemer 365mm, výška 275mm. Plnemotorizované ovládanie
pracovného stola vo všetkých 5 osiach s parametrami X=125mm, Y=125mm, Z=50mm,
T=0-90° a R=360° kontinuálne. Maximálna výška vzorky je 145mm. Real-time náhľad
na celú pracovnú komoru. Mikroskop je plne ovládateľný z prostredia
Windows®. Digitálny výstup obrazu je v rozlíšení max 3,072 x 2,304 pixelov
vo formátoch .tif, .jpg, .bmp. Olejové vákuové pumpy s dvomi okruhmi.
|